TESCAN MAIA3 掃描電子顯微鏡
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海永傲精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2019/10/11 14:49:03
- 訪問次數 1210
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價格區間 | 300萬-400萬 | 儀器種類 | 場發射 |
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應用領域 | 醫療衛生,生物產業,鋼鐵/金屬,公安/司法,綜合 |
突出特點
Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學鏡筒
- TriLens™ 物鏡系統:*的電子束無交叉模式與三物鏡相結合;
- 具有多個 SE 及 BSE 探測器的探測系統;
- TriSE™+TriBE™
- Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV );
- 全新的 EquiPower™技術進一步提高電子束的穩定性;
- 電子束流高達 400 nA,并能實現電子束能量的快速改變;
- 優化的鏡筒幾何設計大可容納8”晶圓
- 實時電子束追蹤技術(In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實時優化;
- 擴展的低真空模式,樣品室氣壓能達到 500 Pa,實現不導電樣品的觀測;
- *的 TriBE™具有三個 BSE 探測器,可以選擇不同立體角的信號進行采集。位于鏡筒內部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器,分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子,而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個探測器可以提供不同襯度的圖像,并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號;
- *的 TriSE™具有三個 SE 探測器,所有工作模式下二次電子信號的采集都進行了優化。位于鏡筒內部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子,SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感;
- 電子束減速技術(BDT)可在低至 50 eV 的低電子束能量下實現出色的分辨率(選配)。
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