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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> TESCAN MAIA3 掃描電子顯微鏡

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TESCAN MAIA3 掃描電子顯微鏡

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上海永傲精密儀器有限公司是系統集成商,我們的團隊由多年從事清潔度測試儀,業納計量儀器 ,業納工業顯微相機,光學軸類測量機,奧林巴斯金相顯微鏡,科研相機,電動位移臺集成的設計,自主研發,服務,銷售人員組成,并向國內外各大汽車零部件生產商提供優質服務,向用戶提供清潔度工業檢測領域個性化,定制化的清潔度檢測系統方案。

清潔度測試儀,業納計量儀器,業納工業顯微相機,光學軸類測量機,奧林巴斯金相顯微鏡,科研相機,電動位移臺

價格區間 300萬-400萬 儀器種類 場發射
應用領域 醫療衛生,生物產業,鋼鐵/金屬,公安/司法,綜合

突出特點

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學鏡筒

  • TriLens™ 物鏡系統:*的電子束無交叉模式與三物鏡相結合;
  • 具有多個 SE 及 BSE 探測器的探測系統;
    • TriSE™+TriBE™
  • Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV );
  • 全新的 EquiPower™技術進一步提高電子束的穩定性;
  • 電子束流高達 400 nA,并能實現電子束能量的快速改變;
  • 優化的鏡筒幾何設計大可容納8”晶圓
  • 實時電子束追蹤技術(In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實時優化;
  • 擴展的低真空模式,樣品室氣壓能達到 500 Pa,實現不導電樣品的觀測;
  • *的 TriBE™具有三個 BSE 探測器,可以選擇不同立體角的信號進行采集。位于鏡筒內部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器,分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子,而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個探測器可以提供不同襯度的圖像,并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號;
  • *的 TriSE™具有三個 SE 探測器,所有工作模式下二次電子信號的采集都進行了優化。位于鏡筒內部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子,SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感;
  • 電子束減速技術(BDT)可在低至 50 eV 的低電子束能量下實現出色的分辨率(選配)。

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