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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
低壓調節專用精密調節器 壓力調節閥 與MODEL6600相比，新開發的本儀器在低壓側精度更高，重現性更好，能夠快速準確地進行壓力調節。本產品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發或半導體制造設備。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
具有低壓側高精度控制的特性
將壓力設為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側壓力變化、二次側負荷電阻變化，具有重現性在±1％以內的高控制性能。
不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態的半導體領域等。
防松螺母結構
通過防松螺母固定設定過一次的壓力調節位置，可防止設定發生變化。
不滲液型
本產品屬于不滲液型，不會發生氣體外泄，請您放心使用。
用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設備
用于半導體領域等
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流體 | 各種氣體 |
|---|---|
| 一次側*大壓力 | 0.4MPa |
| 二次側控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
| *大流量 | 5L/MIN |
| *小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
| 耐壓力 | 0.8MPa |
| 重現性 | 在額定壓力的±1％范圍內 |
| 環境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質 | SUS316、氟橡膠、硬質玻璃 氟樹脂、SUS304、SUS303 |
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