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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
本產品是一款輕便、小巧的精密壓力調節閥，重現性良好。 使用本產品可快速準確地進行高精度的壓力調節。 閥門內部已經進行清潔，因此這是一款*適合用于高靈敏度分析儀器和研究開發的產品。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
KOFLOC科賦樂 壓力調節閥
具有高精度控制的特性
一次側壓力變化、二次側負荷電阻變化，具有重現性高達±1％的高精度控制性能。
*適合用于面板安裝
流體進出口設定在本儀器的背面，便于敷設管道。此外，本儀器輕便小巧，*適合用于面板儀表。
不滲液型
本產品屬于不滲液型，不會有液體流出。
用途
用于氣相色譜儀
用于科學儀器
用于氣體混合裝置
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 型號 | 6600A | 6600B | 6600AL | 6600BL |
|---|---|---|---|---|
| 一次側*大壓力 | 0.8MPa | |||
| 二次側控制壓力 | 0.01?0.3MPa | 0.03?0.6MPa | 0.01?0.3MPa | 0.03?0.6MPa |
| *小工作壓差 | 0.05MPa | |||
| 耐壓力 | 0.8MPa | |||
| 重現性 | 在額定壓力的±1％范圍內 | |||
| 溫度特性 | 在額定壓力的±1％/10℃范圍內 | |||
| 環境溫度 | 5℃?60℃ | |||
| 額定流量 | 參照圖表 | |||
| 接口 | Rc1/4（標準）、Rc1/8 | |||
| 流體接觸部分材質 | （A）鋁、黃銅、NBR、POM、SUS316 （SS）SUS316、氟橡膠、氟樹脂 | |||
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