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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
不受出口側壓力波動的影響 適用于二次壓力波動型氣體的流量控制器
產品介紹
KOFLOC科賦樂 流量控制器
KOFLOC科賦樂 流量控制器
流量控制器是為了在微小氣流中，精確控制微流量或保持恒定流量而設計的定差壓調整閥。
控制閥保證即使二次側（出口側）的負載壓力在供應壓力一定的條件下波動，也能保持流量恒定，內置精密針閥可以精確控制流量設定。
穩定的流量控制特性
通過由高精度零件組成的非旋轉針閥平穩調節微流量。
不受負載壓力損失的影響
由于即使出口側（二次側）的壓力損失發生變化，流量也不會受到影響，因此該閥門對于流量控制的第一階段至關重要。
清潔性
它的組裝與要求清潔度的分析儀器亦可兼容。
用途
用于分析儀（氣相色譜儀等）
用于環境測量設備
適用于各種氣體混合裝置
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 額定流量 | 氣體10ML/MIN～20L/MIN |
|---|---|
| 控制精度 | 負載壓力1.0％指示值以內的波動 （但是，進出口差壓0.05MPa以上） |
| 調整螺桿轉數 | 旋轉大約12圈 |
| 最大工作壓力 | 0.8MPa |
| 最高工作溫度 | 60℃ |
| 流體接觸部分材質 | （A）A?、黃銅、POM、NBR （SS）SUS316、氟碳樹脂、氟碳橡膠 |
| 連接端口 | Rc1/8（M8 + Rc1/8） |
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