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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
MODEL3000系列保持滯后范圍在15%(滿量程電流)以內的流量控制特性，在超小型比例的電磁閥中適用于以氣相色譜儀為首的各種分析設備的自動氣體流量控制。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 小型比例電磁閥控制器
KOFLOC科賦樂 小型比例電磁閥控制器
它具有出色的分辨率，可用于精密壓力控制等。
超小型、重量輕、用于單電源的高性能比例閥
低功耗（Max.2W）
采用磁性材料熱處理和特殊設計的扁平彈簧，杜絕了柱塞芯移動和摩擦振動引起的電流波動。
磁軛沒有采用彎曲加工而是在磨削加工后，采用熱處理以消除磁通量的通過阻礙并增大了磁力
最小滯后在15％以內
符合RoHS標準
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| MODEL | 3000系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3010 | 3020 | 3030 | 3040 | 3050 | ||
| 孔徑（φmm） | 0.08 | 0.28 | 0.5 | 0.75 | 1.3 | |
| 最大CV值 | 0.00022 | 0.0021 | 0.0086 | 0.02 | 0.042 | |
| 壓力 | 耐壓 | 980 kPa *1 | ||||
| 工作差壓 | ～0.98MPa | ～0.6MPa | ～0.4MPa | |||
| 控制 | 最大控制電壓 | 12 / 24V | ||||
| 功耗 | Max.1W/2W | |||||
| 滯后 | 15％以內/滿量程電流 | |||||
| 過濾器 | 20μ（IN，OUT） | 無 | ||||
| 內部泄漏 | 目標氣體?在耐壓范圍內0.1ML/MIN以下 | 0.2ml/min以下 | ||||
| 使用溫度 | 0℃～50℃ *2 | |||||
| 儲存溫度 | -5℃～70℃ | |||||
| 氣體接觸材質 | BS | C3604、SUS430F、氟橡膠、SUS316、SUS304 | ||||
| SUS | SUS430F、氟橡膠、SUS316、SUS304 | |||||
| 尺寸（mm） | □13×17.5 +φ19×31 | |||||
| 導線 | UL3266 XLPE＃28 | |||||
| 絕緣類型 | A類 | |||||
| 連接端口 | φ3.0歧管（標準）、φ3軟管接頭、Rc1/8 | |||||
| 重量 | 約60g（帶Rc1/8的為140g） | |||||
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