目錄:杭州域勢科技有限公司>>Leybold萊寶>>Leybold萊寶真空計>> ITR90Leybold萊寶熱陰極真空計
| 測量原理 | 熱陰極和皮拉尼 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 1萬-2萬 | 量程 | 5 × 10-10 - 1000mbar |
| 應用領域 | 環保,生物產業,能源,電子/電池,制藥/生物制藥 | 真空接口 | DN 25 ISO-KF |
Leybold萊寶熱陰極真空計（ITR90）
有兩種主要型號可供選擇：
l帶單個熱陰極燈絲的 ITR 90
l帶雙燈絲的 ITR 200，通過內置冗余配置延長使用壽命。如果出現故障，它將自動切換燈絲，并指示燈絲出現故障。為了進一步延長真空計的使用壽命，可以運行脫氣程序，從而重新增強燈絲的性能。
l從 1 × 10-10 mbar/torr 到大氣壓的連續壓力測量
l緊湊型設計，帶有可更換的陰極和脫氣模式
l可烘烤的傳感器，用于 UHV 測量
l提供模擬、顯示、數字和 Profibus 接口，便于安裝
l在 10-2 至 10-9 mbar 的典型工藝壓力范圍內具有高重復性
l通過無源測量進行的 UHV 壓力測量，可實現低至 10-12 mbar/torr 的測量
l測量范圍：通?？蓽y量的壓力范圍為 1.3×10?? Pa 到 3×10? Pa，可滿足從高真空到超高真空范圍的測量需求。
l輸出特性：可以與 Duniway Terranova 990 真空計控制器等配合，具有 RS232 串行、I/O 數據輸出接口，可進行壓力讀數的模擬對數輸出等。
工作原理
基于熱陰極電離規的原理工作。通過高溫燈絲發射電子，這些高能量電子在電場作用下加速運動，與真空計測量空間內的氣體分子發生碰撞。在碰撞過程中，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，使氣體分子電離形成帶正電的離子。這些帶電離子在電場作用下被離子收集極捕捉收集，形成離子流。離子流的大小與氣體壓力成比例關系，通過測量離子流的大小就可以測算出氣體的壓力，從而得出真空度。
結構特點
l電極結構：一般由陰極（燈絲）、柵極和收集極組成。陰極通常采用耐高溫、發射電子性能良好的材料制成，通電加熱后發射電子。柵極處于正電位，用于加速從陰極發射出來的電子，使電子獲得足夠的能量去撞擊氣體分子。收集極處于負電位，用于收集被電離的氣體離子。
l規管設計：整體規管的設計能夠保證在高真空環境下，電子、離子的運動和相互作用不受外界干擾，確保測量的準確性和穩定性。
Leybold萊寶熱陰極真空計（ITR90）
技術參數
型號 | ITR90 |
測量原理 | 熱陰極和皮拉尼 |
測量范圍/顯示范圍 | 5 × 10-10 - 1000mbar |
測量精度 | 15% at 1×10-8 - 1×10-2 mbar > 15% at 10-1 - 1000 mbar |
狀態指示器 | LED屏幕 |
工作溫度 | 0 - 40℃ |
最大烘烤溫度 | 150℃ |
超壓限制 | 2bar |
防護等級 | IP30 |
最大電纜長度 電氣連接 | 100m(type C) Sub-D, 15-way male |
接口 | 0-10 V, RS232, Profibus |
控制器類型 | GRAPHIX系列 |
產品優勢
l量程寬：能夠覆蓋較廣的真空度測量范圍，從高真空到超高真空都能進行有效的測量，適用于多種不同的真空應用場景，如半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等。
l精度較高：在其測量范圍內，能夠提供相對準確的真空度測量結果，為工藝控制和實驗研究提供可靠的數據支持。
l響應速度快：可以快速地對真空度的變化做出響應，及時反映系統內真空狀態的改變，有助于實時監控和調整真空系統。
l穩定性好：萊寶作為有名的真空技術品牌，ITR90 熱陰極真空計在設計和制造上遵循嚴格的標準，具有良好的穩定性和可靠性，能夠長時間穩定工作。
應用領域
l半導體行業：在半導體芯片制造過程中的光刻、蝕刻、鍍膜等工藝環節，需要精確控制真空度，ITR90 熱陰極真空計可用于監測和控制真空系統，確保工藝的一致性和產品質量。
l真空鍍膜：如光學鍍膜、金屬鍍膜等，精確的真空度對于鍍膜的質量和性能至關重要，ITR90 可幫助操作人員準確掌握真空狀態，實現理想的鍍膜效果。
l科研領域：在物理、化學、材料科學等科研實驗中，許多實驗需要在高真空或超高真空環境下進行，ITR90 熱陰極真空計可為實驗提供準確的真空度測量，保障實驗的順利進行和數據的準確性。
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