SDX1800 KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵
參考價 | ¥ 12000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型號 SDX1800
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/5/28 14:36:18
- 訪問次數 34
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
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葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDX1800
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDX1800
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指無需任何工作液(如油或水)作為介質,依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。這類泵通過精密配合的機械部件直接壓縮和排出氣體,解決了傳統油封式或液環式真空泵存在的介質污染問題。干式真空泵的發展始于20世紀80年代,隨著半導體、光伏等潔凈工業的需求而快速進步,現已成為高科技制造領域不可替代的關鍵設備。
干式真空泵的典型應用
(一)半導體制造
晶圓加工:刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入:束線系統真空維持
光刻機:EUV光源腔體抽真空
(二)平板顯示行業
OLED蒸鍍:高純真空環境建立
LCD制造:液晶灌注系統
觸摸屏生產:真空貼合工藝
(三)光伏產業
太陽能電池:PECVD工藝
薄膜電池:真空鍍膜系統
組件封裝:層壓機抽真空
(四)科研領域
同步輻射:光束線真空系統
電鏡系統:樣品室抽真空
空間模擬:環境模擬艙抽氣
(五)其他應用
醫療設備:質子治療加速器
鋰電池制造:極片干燥系統
食品包裝:無菌包裝生產線
型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
最大抽速 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
電源電壓 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |