SDE200 KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵
參考價 | ¥ 12000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型號 SDE200
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/5/28 14:26:40
- 訪問次數 55
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
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葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDE200
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDE200
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指無需任何工作液(如油或水)作為介質,依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。這類泵通過精密配合的機械部件直接壓縮和排出氣體,解決了傳統油封式或液環式真空泵存在的介質污染問題。干式真空泵的發展始于20世紀80年代,隨著半導體、光伏等潔凈工業的需求而快速進步,現已成為高科技制造領域不可替代的關鍵設備。
干式真空泵的典型應用
(一)半導體制造
晶圓加工:刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入:束線系統真空維持
光刻機:EUV光源腔體抽真空
(二)平板顯示行業
OLED蒸鍍:高純真空環境建立
LCD制造:液晶灌注系統
觸摸屏生產:真空貼合工藝
(三)光伏產業
太陽能電池:PECVD工藝
薄膜電池:真空鍍膜系統
組件封裝:層壓機抽真空
(四)科研領域
同步輻射:光束線真空系統
電鏡系統:樣品室抽真空
空間模擬:環境模擬艙抽氣
(五)其他應用
醫療設備:質子治療加速器
鋰電池制造:極片干燥系統
食品包裝:無菌包裝生產線
規格/型號 | SDE90X 系列 | SDE120TX | SDE200 系列 | SDE303X/TX | SDE603X/TX | SDE1203X/TX | |
最大抽速 [L/min] *1 *4 | 1,300 | 1,500 | 3,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |
極限壓力 [Pa] *1 | 1.3 | 0.5 | |||||
電源電壓 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V *5 | ||||||
功耗 [kW]*2 | 1.3 | 2.8 | 2.7 | 1.5/3.0 | 1.6/3.1 | 2.0/3.2 | |
外形尺寸 [mm]*3 | L | 690 | 930 | 760 | 900 | ||
W | 370 | 400 | 400 | ||||
H | 501 | 500 | 905 |