HORIBA STEC SEC-N114MGM 高精度數字式質量流量控制器（MFC）

產品概述

HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數字式質量流量控制器，隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產品專為半導體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業場景設計，具備高精度、多通信協議支持和快速響應等特點。

主要特點

• 高精度控制：控制精度可達 ±1.0% 設定點，確保流量控制的準確性。

• 快速響應：響應時間小于 1 秒，適用于動態過程控制。

• 多通信協議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協議，確保與不同系統的兼容性。

• 多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設置，無需更換設備，提升靈活性。

• 高可靠性設計：采用 316L 不銹鋼接液材質，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。

技術參數

• 型號：SEC-N114MGM

• 流量范圍：1 SLM 至 10 SLM（以氮氣為基準）

• 控制范圍：2% 至 100% 滿量程

• 測量范圍：0% 至 100% 滿量程

• 控制精度：

• 當流量大于 25% 滿量程時：±1.0% 設定點

• 當流量小于或等于 25% 滿量程時：±0.25% 滿量程

• 響應時間：小于 1 秒

• 重復性：±0.2% 滿量程

• 線性度：±0.5% 滿量程

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C（推薦 15°C 至 45°C）

• 工作壓差范圍：50 至 300 kPa（差壓）

• 最大工作壓力：450 kPa（表壓）

• 泄漏率：≤ 5 × 10?12 Pa·m3/s（氦氣）

• 電源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA

• 通信接口：支持 DeviceNet 協議

• 接液材質：316L 不銹鋼

• 標準接頭：1/4 英寸 VCR 或 Swagelok 接頭

• 安裝方向：不限

• 閥門類型：常閉型（C 型）

應用領域

• 半導體制造中的氣體輸送與刻蝕工藝

• 光通信器件的高純氣體控制

• 研究與測試實驗室

• 食品和飲料制造中的滅菌過程