HORIBA SEC-N100 系列數字式質量流量控制器

產品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫藥等領域。該系列支持多種通信協議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統的理想選擇。

核心特點

多氣體 / 多量程功能（Multi-Gas / Multi-Range）

• 支持多種氣體類型（N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、SF?、NF? 等）

• 滿量程流量可通過配置軟件快速切換，適應不同工藝需求

• 用戶可靈活自定義氣體參數，無需更換設備

高精度控制

• 設定值 > 30% F.S.：精度為 ±1.0% of Set Point

• 設定值 ≤ 30% F.S.：精度為 ±0.3% of Full Scale

快速響應

• 可變 PID 控制算法

• 1 秒內達到設定值響應（響應時間 < 1s）

多種通信接口

• 模擬信號接口：0–5V、0–10V、4–20mA

• 數字通信接口：RS-485（F-NET）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT

• 支持遠程監控、過程自動化、工業集成

寬量程覆蓋

• 流量范圍從 10 SCCM 到 200 SLM，適配不同工藝設備

• 常見型號包括 SEC-N112MGM（模擬型）、SEC-N112MGR（RS-485型）

技術規格

• 測量原理：熱式質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：基于可變 PID 的閉環控制算法，實現快速穩定的流量調節

• 適用氣體：支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體，如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等（使用前需確認氣體兼容性）

• 精度說明：

• 當設定值大于 30% F.S. 時，精度為 ±1.0% of Set Point

• 當設定值小于或等于 30% F.S. 時，精度為 ±0.3% of Full Scale

• 響應時間：小于 1 秒，適應工藝過程中的快速切換

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 200 SLM，根據具體型號而定，適配多種應用需求

• 通信接口：

• 模擬信號：0–5V、0–10V、4–20mA

• 數字通信：支持 RS-485（F-NET 協議）、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT 等主流工業協議

• 電源要求：

• 模擬型產品需 ±15V DC 供電

• 數字通信型產品需 24V DC 供電

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C，適用于潔凈室及標準工業環境

• 設備尺寸：約 81.8 毫米（寬）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 產品重量：約 1.2 千克，結構緊湊、便于集成

• 安裝方式：支持面板安裝或機架安裝，方便系統集成

• 產品認證：符合 CE、RoHS 等國際標準（依據型號）

應用領域

• 半導體工藝氣體輸送系統

• 真空設備中的氣體注入控制

• 等離子體蝕刻與沉積設備

• 光伏太陽能電池制造

• OLED、LED、液晶顯示面板生產線