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高精度粒子計數器在顯示面板潔凈室環境監控中的關鍵作用

來源:四方光電(武漢)儀器有限公司   2025年04月15日 10:06  

近年來,全球平板顯示面板市場規模持續擴大,下游消費電子領域(電視、電腦、手機等)以及商用顯示、車載顯示、醫療顯示等專業顯示市場需求持續增長。為應對市場擴容需求,LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率,以確保終端市場產品供應并維持市場競爭優勢。

 

影響LCD與OLED質量的核心要素

 

在平板顯示制造工藝中,顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關鍵因素。隨著器件小型化與精密化發展,高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級,這使得生產工藝對顆粒污染更為敏感。基底表面顆粒沉積易引發點缺陷甚至線缺陷,直接導致產品良率下降。

 

靜電污染問題同樣不容忽視。材料間電子能級差異導致接觸時發生電荷轉移,由此產生的靜電吸附(ESA)效應會強力吸附周圍微粒,此類污染難以通過常規清潔手段去除。此外,靜電放電(ESD)與電磁干擾引發的設備故障也會對制程穩定性造成威脅。

 

潔凈室實時顆粒物監控解決方案的價值

 

通過實施潔凈室環境顆粒物實時監測系統,可及時識別顆粒濃度超標風險,并采取針對性防控措施。該方案能有效降低空氣懸浮顆粒沉降造成的基底表面污染,同時緩解靜電吸附(ESA)導致的次生污染,從而系統性提升產品良率。

 

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四方光電在線激光塵埃粒子計數器技術優勢


四方光電依托成熟的光散射技術,開發出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在線或便攜型粒子計數器。該產品線具有以下核心優勢:

 

?采用工業級大功率線性激光源,確保>98%的粒子識別精度與計數效率

?支持多通道定制化粒徑分級(標準配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm)

?連續穩定采樣設計,MTBF(平均無故障時間)超過30,000小時

?符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等國際標準,適用于百級至十萬級潔凈環境

?該系列產品已通過RoHS認證,在TFT-LCD陣列制程、OLED蒸鍍工藝等關鍵制程環節實現規模化應用

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