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目錄:四方光電(武漢)儀器有限公司>>氣體傳感器>> Gasboard-2060紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝
  • 紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 四方儀器
  • 型號 Gasboard-2060
  • 廠商性質 生產商
  • 產品資料 查看pdf文檔
  • 所在地 武漢市
屬性

應用領域:化工,能源

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更新時間:2025-05-27 10:45:11瀏覽次數:915評價

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應用領域 化工,能源
紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝

產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數


檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應用領域

半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測


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