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參考價(jià): | ¥ 12000 |
訂貨量: | 1件 |
- SDX1800 產(chǎn)品型號
- KASHIYAMA/日本 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):29更新時(shí)間:2025-05-28 14:36:18
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指無需任何工作液(如油或水)作為介質(zhì),依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 SDX1800
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 SDX1800
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指無需任何工作液(如油或水)作為介質(zhì),依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。這類泵通過精密配合的機(jī)械部件直接壓縮和排出氣體,解決了傳統(tǒng)油封式或液環(huán)式真空泵存在的介質(zhì)污染問題。干式真空泵的發(fā)展始于20世紀(jì)80年代,隨著半導(dǎo)體、光伏等潔凈工業(yè)的需求而快速進(jìn)步,現(xiàn)已成為高科技制造領(lǐng)域不可替代的關(guān)鍵設(shè)備。
干式真空泵的典型應(yīng)用
(一)半導(dǎo)體制造
晶圓加工:刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入:束線系統(tǒng)真空維持
光刻機(jī):EUV光源腔體抽真空
(二)平板顯示行業(yè)
OLED蒸鍍:高純真空環(huán)境建立
LCD制造:液晶灌注系統(tǒng)
觸摸屏生產(chǎn):真空貼合工藝
(三)光伏產(chǎn)業(yè)
太陽能電池:PECVD工藝
薄膜電池:真空鍍膜系統(tǒng)
組件封裝:層壓機(jī)抽真空
(四)科研領(lǐng)域
同步輻射:光束線真空系統(tǒng)
電鏡系統(tǒng):樣品室抽真空
空間模擬:環(huán)境模擬艙抽氣
(五)其他應(yīng)用
醫(yī)療設(shè)備:質(zhì)子治療加速器
鋰電池制造:極片干燥系統(tǒng)
食品包裝:無菌包裝生產(chǎn)線
型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
最大抽速 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
電源電壓 (50/60Hz) | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |