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產品介紹
LINTEC琳得科 加熱器 HX-0020
LINTEC琳得科 加熱器 HX-0020
加熱器是將電能、燃氣能或其他能源轉化為熱能的裝置，廣泛應用于工業制造、家用電器、醫療設備等領域。現代加熱器采用智能溫控和高效熱傳導技術，熱效率可達95%以上，是能源轉換的核心設備之一。
液化氣體通常用于ALD(原子層沉積)和CVD(化學氣相沉積)等真空沉積工藝，但用室溫氣體吹掃會發生冷卻、冷凝的現象，從而使吹掃效果大打折扣。熱吹掃則有效解決了這一問題。小型氣體加熱器HX-0020系列的的空間面積與MFC所差無幾，且最高加熱溫度為200℃，可對使用端(POU)附近的氣體進行加熱，因此成為了ALD和CVD等真空沉積設備熱吹掃工藝的理想選擇。
特點
面間距160㎜×長度55㎜的緊湊型設計
可將10SLM的N2加熱至200℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質，可加熱對其無腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質 | |
| 規格 | 10SLM | 14kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
四、應用領域
工業制造
注塑機加熱（±1℃溫控）
半導體擴散爐（1500℃恒溫）
食品烘干線（濕度聯動控制）
民用領域
即熱式熱水器（3秒出熱水）
智能電地暖（分區控溫）
廚房電器（無明火加熱）
特殊應用
醫療消毒設備（134℃蒸汽滅菌）
航空航天材料測試（-70~300℃快速變溫）
新能源電池預熱（低溫環境-40℃啟動）
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