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ESA15-DEBARA荏原 干式真空泵
參考價(jià): 9510
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • ESA15-D 產(chǎn)品型號(hào)
  • EBARA/荏原 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):108更新時(shí)間:2025-03-21 15:41:15

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產(chǎn)品簡介
泵軸位置 其他 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
EBARA荏原 干式真空泵 ESA15-D
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。
產(chǎn)品介紹

EBARA荏原  干式真空泵 ESA15-D


EBARA荏原  干式真空泵 ESA15-D

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比,因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。

制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響。

化工行業(yè):適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除,滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。

食品加工:在食品包裝和脫氣過程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。

技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步,干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如,采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗,通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和故障診斷。此外,新材料的應(yīng)用也進(jìn)一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。總之,干式真空泵以其無污染、高效和環(huán)保的特點(diǎn),在現(xiàn)代工業(yè)中扮演著越來越重要的角色,成為高潔凈度工藝中的關(guān)鍵設(shè)備。

工作原理

干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體,無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮,最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。



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