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3660KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 8420 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 3660 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：21更新時間：2025-05-21 09:38:30
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
MODEL 3660系列是一款質(zhì)量流量控制器，主要結(jié)構(gòu)緊湊，成本低廉。
從大學(xué)和研究機構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中，我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項。
配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測方法，實現(xiàn)高速響應(yīng)
采用常閉閥門，方向操作安全
通過電磁執(zhí)行器確保高可靠性
燃?xì)饪刂频牡蛪翰钜?guī)格（LP選項：僅限3660）
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 模型 | 3660 | 3665 | |
|---|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） | |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉） | ||
| 控制范圍（* 1） | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度 | 在2秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | 在3秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.1％F.S./°C（15~35°C） | ±0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作壓差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | |||
| 壓力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼 | ||
| 閥座FKM（選件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | |||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||
| 流量設(shè)定 輸入信號 | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA | ||
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 | |
| 重量 | 約1000g | 約1500g | |
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