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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
讀出裝置CR.400B是一款便利的裝置，通過一根電纜與質量流量控制器和質量流量計相連，除測定、控制流量等基本功能外，還具有流量累計功能和流量事件輸出功能。
此外，還具備RS.485通信功能，可通過主機輕松對多臺本裝置進行通信控制。
※與舊型號CR300尺寸兼容
通過各高低4位切換顯示8位累積流量
可實現各種事件輸出
尺寸為W:73×H:73，對安裝地點的要求不高
配備了質量流量控制器的閥門強制開關功能
背面裝有外部控制端子，可進行遠程操作
通過RS-485通信實現質量流量控制
利用鎖定鍵防止誤操作
質量流量供應電源：±15VDC（300mA）
驅動電源為AC85V.AC264V 48.440Hz
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 質量流量控制功能 | 流量設定、閥門強制開關、零切割 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 質量流量輸入、輸出電壓 | DC 0?5V | |||||
| 質量流量供應電源 | ±15VDC（300mA） | |||||
| 顯示位數 | 瞬時流量：4位、累積流量：8位（各高低4位切換） | |||||
| 顯示精度 | 瞬時流量：±0.1％F．S．±1digit以內 | |||||
| 外部控制功能 | 背面輸入端子：模擬信號、RS.485通信（半雙工） | |||||
| 事件輸出 | 2段（從瞬時上限/瞬時下限/瞬時上下限/累積到達中選擇） 開集輸出（最大額定值 50V.50mA） | |||||
| 耗電 | 約25W | |||||
| AC電源 | AC85?AC264V 48?440Hz | |||||
| 重量、外形 | 約400g，W：73 x H：73 x D：119.5mm | |||||
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