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HFC-303KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
| 參考價(jià): | ￥ 7650 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- HFC-303 產(chǎn)品型號(hào)
- KOFLOC/科賦樂(lè) 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：14更新時(shí)間：2025-05-21 09:24:00
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂(lè)是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專(zhuān)注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門(mén)的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長(zhǎng)壽命著稱(chēng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
HFC-303是一種質(zhì)量流量控制器，通過(guò)結(jié)合電磁式先導(dǎo)閥和為大流量控制開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)流量控制閥，可實(shí)現(xiàn)大流量的高精度氣體控制，這在過(guò)去很難實(shí)現(xiàn)。
作為HFC-203系列的后續(xù)產(chǎn)品，HFC-203系列已廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，是一種新型號(hào)，可實(shí)現(xiàn)更高的精度和高速響應(yīng)。
采用兩級(jí)控制閥，支持高達(dá)1000 SLM的高流量
即使流量大，也能實(shí)現(xiàn)±1.0％的高精度
確保傳統(tǒng)型號(hào)的高速響應(yīng)性能
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 100?300 SLM（可選） | 301?1000 SLM（可選 | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門(mén)方式 | 比例螺線管閥門(mén)（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％F.S.（25°C） | ||
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | ||
| 壓差 | 個(gè)人反應(yīng) | ||
| 耐壓 | 3.4MPa（G）（HP選項(xiàng)6.8MPa（G）） | ||
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 5~45℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，Ni，SUS302 | ||
| 隔膜FKM | |||
| 閥座FKM | |||
| 密封材料FKM（選件CR，Kallets） | |||
| 電氣連接 | Dsub 15針 | ||
| 流量設(shè)定 輸入信號(hào) | 0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA | ||
| 配件（車(chē)身尺寸） | 標(biāo)準(zhǔn)1/2 SWL（3 / 4.16 UNF） | 標(biāo)準(zhǔn)3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF） | |
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