聯系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 汪雅琪
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 13166082288
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新區天府大道中段500-1號東方希望天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
MODEL 3200系列是新型質量流量控制器，是3910系列的后續產品，已在半導體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。
配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應采用常閉閥門，方向操作安全采用隔膜閥，減少死體積
F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
低壓差兼容燃氣控制（LP選項）
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應速度 | 1秒內（±2％FS內） | |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G） | ||
| 選項：低壓差規格（LP）可根據條件制造 | ||
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜SUS316 | ||
| 閥座PTFE | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設定 輸入信號 | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | |
| 重量 | 約1000g | |
相關產品
-
￥8120 -
￥8120
-
￥8120
-
￥8120
