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儀器簡介:
    用旋片式機械泵及油擴散泵組成真空機組，使系統獲得高真空。觀察并利用復合真空計測量系統真空度。
    當獲得所需滿意的高真空要求時（真空度不低于10-2Pa），用真空蒸發鍍膜的方法使材料中分子或原子的熱振動能量超過表面的束縛能，從而使大量分子或原子蒸發或升華，并直接沉淀在基片上形成薄膜。

技術參數:
1、機械泵:抽速0.5（升／秒）,極限真空0.06（帕）,轉速：1400（轉／分）
2、油擴散泵:  三級油擴散泵內60升/秒;極限壓強是1×10-5 Pa 
3、外形：鐘罩式（內徑300mm）
4、蒸發方式：電加熱；電子束蒸發
5、基片旋轉電機驅動
6、控制方式：手動/自動

特 點：
   由高真空鍍膜工作室、真空測量真空機組組成。可完成教學大綱中真空技術實驗要求的多項內容。可根據實驗的具體要求選擇、增減設備進行組合。