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| 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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日本IKC手動型波紋管式直導入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 特點介紹
直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態的情況下從大氣側直線前進的產品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。
入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動和自動驅動系統，提供滿足各種需求的產品。
我們的焊接波紋管是內置的，行程標準化為 10 至 200 毫米。
驅動部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領域。
它的結構極其簡單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動型設計可承受250℃烘烤溫度。
波紋管式直導入機手動型(ILD-M)
波紋管式直導入機自動型（ILD-A）
波紋管式緊湊型直線送料機（ILC）
日本IKC手動型波紋管式直導入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 規格參數
ILD-34MILD-70MILD-114M
型號后綴30 50 30 50 100 50 100 150 200
行程（毫米）30 50 30 50 100 50 100 150 200
連接法蘭CF34 CF70 CF114
驅動方式手動的
泄漏量1×10 -9 Pa?m 3 /s以下
烘烤溫度250℃
主要使用材料SUS304
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