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當前位置：深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>實驗設備>>鍍膜機>> DST2-TG英國VacCoat手套箱用濺射鍍膜機熱蒸發(fā)器
| 產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
英國VacCoat手套箱用濺射鍍膜機熱蒸發(fā)器 DST2-TG 特點介紹
DST2-TG 是一款雙靶渦輪泵濺射鍍膜機，配有供手套箱使用的熱蒸發(fā)器，是一種多真空鍍膜機系統(tǒng)，
將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機結合在一個緊湊的桌面系統(tǒng)中，并通過 Wi-Fi 連接進行遠程系統(tǒng)控制，可通過觸摸屏和PC控制。
高真空系統(tǒng)適用 于多種材料的沉積。雙磁控靶臺式濺射鍍膜機可以在 蒸發(fā) 和 濺射沉積之間輕松切換 ，以制備多層涂層。
英國VacCoat手套箱用濺射鍍膜機熱蒸發(fā)器 DST2-TG 規(guī)格參數
DST2-TG磁控臺式濺射鍍膜機是高精度半/全自動真空鍍膜系統(tǒng)，配備大室（直徑300毫米）和兩個2英寸直徑水冷陰極，適合長時間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺。磁控臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)船可以安裝在一起或互換安裝，總共可以使用三個沉積源
雙級旋片前級泵
高真空內置渦輪泵90 l/s
全量程真空計
大室（直徑 300 毫米，高度 20-25 厘米）適合大型樣品沉積
電動升降臂可在真空室中上下移動
兩個 2" 水冷濺射陰極
兩個石英晶體傳感器（精度 1 納米），用于實時厚度測量
安裝在手套箱上的 KF40 饋通件，用于電源（直流、射頻和高電流 (HC)）、真空泵軟管、水冷卻和氬氣/反應氣體連接以及電氣連接
兩個精密質量流量計 (MFC)，用于精細控制真空和壓力
電子百葉窗
陰極選擇電機
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