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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉涂膜機、 勻膠機、 顯影機、 甩膠機、 旋涂儀、 spin coater 主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝， 是一款上蓋可 以加熱的勻膠機、 顯影機，在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續 蒸發到含量。 工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布， 有利于薄膜和顯影過程的順利進行。 本機電機部分、 溫度控制部分、 注液部分分別使用獨立 電源進行控制，電機調速系統則采用了抗干擾性高的 PLC 進行控制，轉數在 100-2000RPM 范圍內可調。 涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據實際需要進行設置。 VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、 spincoater 啟動快速、轉 數穩定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 對于樣件的固定，采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡便。 此外，在安裝結構上，采取了減震措施，降低運 轉時的噪音。
| 產品型號 | VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、 spin coater |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設備配有進出水口 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 |
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| 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kgs 以上 5、通風裝置：需要 |
| 主要特點 | 1、 采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡便； 橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據需要進行定制。 2、 該機上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個穩定值。 3、 本機上蓋具有 4 組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。 4、電機部分、 溫度控制部分、 注液部分分別使用獨立電源的方式，電機調速系統 則 采 用 了 抗 干 擾性高 的 PLC 進 行 控 制， 數 值顯示 更 直 觀可 靠， 轉 數 在 100-2000RPM 內可調。 5、涂膜機在工作時設有兩個階段，在啟動前根據實際需要， 可分別進行時間 1、 轉速 1、時間 2、轉速 2 的設置。 設置完成啟動后，涂膜機先以轉速 1 在時間 1 時間內運轉，使涂膜物質逐漸分散開。 當時間 1 時間結束時，涂膜機自動進入 時間 2 時間階段運轉，使涂膜物質更加均勻。 |
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| 6、噴霧旋轉涂覆機啟動快速、轉數穩定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結構上，采取了減震措施，降低運轉時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質，使用壽命更長，提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂 性能；機身采用鑄鋁結構，結實耐用且質輕。 |
| 技術參數 | 1、 電源： AC220/110V、 50/60Hz 2、 電機功率： 功率 210W 3、雙轉速涂膜功能:雙轉速及涂膜時間分別設置， 在啟動后先低速運轉(滴涂膠 液)，然后自動轉換到高速運轉(勻膠)。轉速穩定（±1%），涂膜物質均勻。 轉數 1： 100-2000 RPM 有效 時間 1： 1--200s 有效 轉數 2： 100-2000 RPM 有效 時間 2： 1--200s 有效 4、 適用于 Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍： 0-100℃。 6、環境溫度 5-40℃，相對濕度不大于 85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影 響。 |
| 規格尺寸 | 主機外形尺寸 500mm （長） ×410mm （寬） ×330mm （高）， 重量 24Kg。 |
| 標準配件 | 1 | 磁性鋼片模板（Ф160mm） | 1 件 |
| 2 | 吸盤(Ф153mm) | 1 件 | |
| 3 | 溫控箱 | 1 臺 | |
| 4 | 蠕動泵 | 6 臺 | |
| 可選配件 | 橡膠吸盤 | ||
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