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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
DX-7 系列晶棒及晶片角度測量儀
產(chǎn)品簡介： DX-7 系晶棒及晶片角度測量儀是雙側工作臺，可同時進行操作，用于對晶棒及晶片的角度進行 測量。
DX-7 系列晶棒、晶片角度測量儀參數(shù)對比表
型 號 | DX-7B | DX-7BG | ||
主要特點 | 設備構造：設備分為落地式一體機。 外型尺寸： 1132 （長）× 642 （寬）× 1200（高） mm。 | |||
樣式 1 | 樣式 2 | 樣式 3 | ||
功能 | 可測量晶棒的端面和柱面， 也可以測 量晶片。 | 帶有六方型刻度貼片板， 可測量晶片端面 | 可測量晶片參考邊 | |
被測晶 體尺寸 | 2-6 寸晶棒、 長度 L≤320mm， 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶棒、長度 L≤100mm， 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶片。 | |
工作臺 圖片 |
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配套 夾具 | ①V 型夾具（測量晶棒端面時使用） ②底板（測量有參考面的晶棒端面時 使用） | 無需夾具 | 無需夾具 | |
工作臺：以上是常見工作臺，可根據(jù)客戶需要， 任選以上 2 種樣品臺進行組合，也可以雙側一樣，還可 以根據(jù)被測的晶體尺寸，及晶體被測方位來特殊設計。 | ||||
設備精度 | 設備綜合精度為±30″ （以供方提供的標準石英片 10ī1 面測量） | 設備綜合精度為±15″ （以供方提供的標準石英片 10ī1 面測量） | ||
最小讀數(shù) | 10″ | |||
儀器配置 | DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射線單晶定向儀由機臺、 管套及各種機械附件組成的機械部分； 由穩(wěn)壓器、控制器、 高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風冷電機、 X 射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。 | |||
技術指標 | （1） X 射線發(fā)生器部分： X 射線管：銅靶，風扇冷卻，陽極接地。 管電壓： 30KVP，全壓合閘。 管電流： 0—5mA 連續(xù)可調， 使用 2.0mA 以上， 有可能損壞 X 光管并加大輻射危害。 | |||
（2）輸入電源： 單相交流 220V，50Hz，整機總耗電功率不大于 0.3 KW 。 （3）角度測量范圍： 2 θ角：－ 10～+110° θ角:-5～+55°。 | ||||
衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||
放大系統(tǒng) | 傳統(tǒng)放大器 | 新型放大器 | ||
接收系統(tǒng) | 計數(shù)管計數(shù)率為 104/秒 | 計數(shù)管計數(shù)率為 108/秒 | ||
（是普通系列的 1 萬倍） | ||
接收器壽命 | 1 年 | 3 年以上 |
X 光管壽命 | 按照國家標準 400 小時 （X 光管可以使用 3-4 個月） | 是正常使用狀況下的 2-3 倍 （X 光管至少可以使用一年） |
X 管電流強度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA |
測量和使用效果 | X 光管使用 2-3 個月有可能出現(xiàn)多個假峰，影響 準確度。 需要經(jīng)常更換 X 光管，影響生產(chǎn)效率。 | 可以濾掉 X 光管的雜峰，不存在假峰現(xiàn)象。 X 光管可 以使用 1 年左右，不需要頻繁調整機器。 |
精度 | 精度±30 秒（或±0.008 度） | 精度±15 秒（或±0.004 度） |
輻射 | 測量時使用 mA 量越來越大，射線輻射量較大。 | 測量時使用 mA 量小，射線輻射量較小。 |