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3PC1-001-0000-INFICON復(fù)合真空計(jì)
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更新時(shí)間:2025-03-17 08:29:12

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INFICON復(fù)合真空計(jì)
真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

INFICON復(fù)合真空計(jì)



INFICON復(fù)合真空計(jì)


按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。


利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

INFICON復(fù)合真空計(jì)

與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。





熱陰極電離規(guī)



測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。



圖5 熱陰極電離規(guī)

如圖5所示,熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。


經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。


由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定


在較高壓力時(shí)(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì),麥克勞真空計(jì),薄膜計(jì),彈簧管壓力計(jì)等。


在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。


在低壓力時(shí),使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。


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INFICON PCG550 3PC1-001-0000

Infineon "FZ2400R17HE4_B9  "

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Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1

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