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價格區(qū)間	1-1萬	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L

氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。

?元件部分SUS316L

?也可用于高溫應(yīng)用。

?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。

氣體擴(kuò)散器概述

1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率，同時最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。

5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)，我們在用去離子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。