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quark/準分子照射裝置的應用是什么?

時間:2023/9/1閱讀:2138
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準分子照射裝置

應用實例

光掩模檢查前的中和

晶圓靜電消除(防止電路損壞)

玻璃表面有機物去除(干洗)

涂裝前表面改性(提高附著力)

鍍前表面改性(精細鍍層滲透)

電子基板的預貼合處理(提高附著力)

什么是準分子燈?


準分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源,其發光原理和結構與傳統的放電燈(汞燈、氙燈等)不同。

準分子燈產生波長為172 nm的真空紫外光(VUV),其光子能量比傳統光清潔和改性中使用的汞燈(波長為185 nm和254 nm)更高。 

它可以立即打開和關閉,不需要空轉。

扁平型

半導體QEF-300SPCQEF-230SPCQEF-160QEF-100QEF-35STQEF-35ST-V126
波長172納米126納米
公用事業氮氣/冷卻水/AC100-240V
分配±5%±7%
照射孔徑φ332mm218×218毫米167×167毫米φ100mmφ35mmφ35mm
兼容的工作尺寸12英寸8英寸6寸4英寸
照度(最大窗口表面)80毫瓦/平方厘米80毫瓦/平方厘米30毫瓦/平方厘米30毫瓦/平方厘米5毫瓦/平方厘米5毫瓦/平方厘米
 
 平面顯示器QEF-1600QEF-600QEF-320
波長172納米
公用事業氮氣/冷卻水/AC100-240V
分配±10%
照射孔徑70×1570毫米70×620毫米70×312毫米
兼容的工作尺寸G6G3
照度(最大管面)180毫瓦/平方厘米180毫瓦/平方厘米100毫瓦/平方厘米
 

管型

半導體QEV-360QEV-230QEV-160
波長172納米
公用事業氮氣/冷卻水/AC100-240V
分配±15%
照射孔徑340×340毫米216×216毫米176×176毫米
兼容的工作尺寸12英寸8英寸6寸
照度(最大窗口表面)15毫瓦/平方厘米
 
 平面顯示器QEV-1200QEV-850QEV-750QEV-150
波長172納米
公用事業氮氣/冷卻水/AC100-240V氮氣/AC100~240V
分配±15%
照射孔徑25×1200毫米25×850毫米25×750毫米25×172毫米 
兼容的工作尺寸寬度1200mm寬度850毫米寬度750毫米寬度150毫米 
照度(最大管面)50毫瓦/平方厘米




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