適合滅菌的材料：鋁、銅、Kraton共聚物、玻璃、乙烯、乙酸乙烯、液晶共聚物、聚碳酸脂、鈦、聚氨基甲酸脂、聚氯乙烯、不銹鋼、聚醚醚酮、聚乙烯聚苯、聚四氟乙烯、聚醚酰亞胺（U1tem共聚物）、聚苯乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、硅氧烷彈性體等。
GMP驗證中推薦的臭氧滅菌方法，用得比較成功的方面：需滅菌物品的表面消毒滅菌在藥品生產過程中，常常要對原材料，工器具，包裝物等進行表面消毒，常常使用消毒柜，傳遞窗等。傳統的方法是用紫外線消毒。問題主要是在消毒不徹的底，所以，若使用在諸如傳遞窗等要求不高的場合是可以的。但遠不如臭氧的效果好。只要不怕臭氧腐蝕的東西都可以放在柜內進行消毒。臭氧濃度可以設計的高一點。可以取得100ppm以上。X射線和γ射線能使其它物質氧化或者直接作用于生物分子，從而抑制或殺死微生物。
用敞口的玻璃瓶滅菌，其結果是玻璃瓶中的液體減少了1/3；用塑料薄膜緊緊封住瓶口，封口塑料薄膜中間破裂，玻璃瓶中的液體仍減少1/3。
在對液態物質進行滅菌時，當滅菌結束注意卸壓不能過快，盡量將排氣閥關小，保持自然降壓，保持系統原有的平衡，以防產生液體減少或噴濺現象。
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