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一、產品概述：（熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用）
u可快速精確測量高溫氣體/蒸汽的體積流量/質量流量
u采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制
u超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊
u內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感
u采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動
u提供良好的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。
二、產品應用：
-- ACU20FDH-LH系列高溫型質量流量計/控制器廣泛應用于各行業領域，如：工藝制造、食品分析、
分析性測試與計量等。
-- 多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅用一臺ACU20FDH-LH質量流量計&控制器便可取代多臺設備的功效。
精度1%、重復性0.2%及不到200毫秒的控制響應時間，確保過程氣體/蒸汽正常工作。
三、技術參數：（熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用）
| 規格 | 量程范圍 | 氣體：100SCCM~30SLM 蒸汽：10SCCM~10SLM | |
| 精度（調零后標準條件下） | ±1%F·S | ||
| 重復性 | ±0.2%F·S | ||
| 零點漂移&滿量程漂移 | 0.02%F·S/℃/Atm | ||
| 工作范圍/量程可調比 | 2%~100%F·S/50：1 | ||
| 最大可測流量 | 100%F·S | ||
| 典型響應時間 | 200毫秒（可調整） | ||
| 啟動預熱時間 | ＜5秒 | ||
| 運行狀況 | 最大工作壓力 | 3 MPa / 10MPa | |
| 對安裝方式/方向的要求 | ＞1L/min量程，閥門須垂直安裝 | ||
| 閥門等級 | 閥門長閉 | ||
| 防護等級 | IP40 | ||
| 材質 | 不銹鋼 | ||
| 信號 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示流量、設定 | |
| 數字輸出信號 | RS-485/PROFIBUS | ||
| 模擬輸入信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 模擬輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
| 電信號接口 | DB15 | ||
| 供電電壓 | 24~30VDC | ||
| 供電電流 | 0.750Amp | ||
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