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一、ACU20FC 濕氣、含殘液的氣體質量流量計及控制器MFC 產品概述：
1、準確度±0.5%F.S，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定。
2、無需預熱，測量時無響應滯后。
3、ACU20FC采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫
度等。
二、ACU20FC 濕氣、含殘液的氣體質量流量計及控制器MFC 產品參數：
（如所需參數性能與下述不符，請溝通定制）
技術指標 | 高精度質量流量控制器 | 高精度質量流量計 | |
量程范圍 | 2SCCM～5000SLPM（0~0.02SCCM~5000SLPM) | ||
測控范圍 | 控制器閥控范圍50:1 | 流量計量程比100:1 | |
準確度 | ±0.5%F.S（滿量程） | ||
線性 | ±0.5%F.S | ||
重復精度 | ±0.2%F.S | ||
穩定性 | <±0.1%FS | ||
響應時間 | <200ms | <100ms | |
溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作溫度 | -10～60℃ | ||
預熱時間 | 30S可用，5Min達到最佳狀態 | ||
工作壓力 | 工作壓差：0.1~0.5Mpa | 工作壓降<0.01Mpa | |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe | ||
機械部件 | 底座材質 | 不銹鋼 |
接頭 | φ6，φ8，φ10，1/2"...快插、卡套、法蘭安裝等 | |
密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，乙丙橡膠等 | |
外殼防護等級 | IP40 | |
安裝位置 | 水平安裝、垂直（下進上出） |
電氣性能 | 單色LED顯示屏 | 同時顯示流量、設定 |
電氣連接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | |
顯示狀態 | 帶液晶顯示、不帶液晶顯示 | |
數字量 | RS232/485，MODBUS等協議 | |
模擬量 | 0～5V、4-20mA、1-5V | |
供電 | ±15VDC，24VDC,220VDC（轉接） |
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