熱式氣體質量流量控制器是一種用于測量和控制氣體或液體的質量流量儀表。它可以自動控制氣體流量，即用戶可以根據需要設定流量，MFC可以自動保持流量恒定在設定值。即使系統壓力波動或環境溫度變化，也不會偏離設定值。熱式氣體質量流量控制器以結構簡單、可靠性好、 成本較低等特點得到越來越多的應用,在可以預見的未來，熱式流量計在流量計中的使用比例會進一步提高。在小流量控制技術的發展進程中，其使用和發展是其重要的一部分。
故障及處理：
(一)故障:流量波動大;處理方法:檢查流星計參數設置是否正確，檢查傳感器探頭是否被污染,如果傳感器可以帶壓插拔，可拔出傳感器探頭清洗。
(二)故障:流量計顯示滿量程;處理方法:首先應了解I藝流程是否變化，介質流量增加超出儀表測量范圍;檢查傳感器接線是否有誤，可能有一條或數條傳感或激勵導線松脫或短路,被加熱的RTDI參照的RTD斷路或短路;是否因工藝變化造成介質帶液,必要時可拆下傳感器探頭，確認探頭未被污染和帶液。
(三)故障:流量計測量值偏低;處理方法:檢查流量計傳感器RTD電阻及加熱器電阻是否正常;介質內是否的雜質固化在傳感器探頭上,拆下傳感器探頭清洗。
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