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菲希爾XDL230信息

時間:2024/9/13閱讀:298
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菲希爾X射線XDL230主要技術指標:(標★為重要參數)

1、測量原理:X射線熒光光譜法測量鍍層厚度

2、測量方式:無損檢測,可自動聚焦

3、元素測量范圍: Cl(17)--U(92),多可測量24種元素23層鍍層。

★4、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm

5、電動Z軸,手動/自動聚焦,可移動范圍≥140mm

★6、采用DCM(測量距離補償法)可遠距離對焦測量腔體樣品,可達80mm深度

★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調節,以滿足不同的測試需求。

★8、準直器:φ0.3的圓形準直器

9、X射線探測器:比例接收器

10、統計計算:數據組帶時間和時期功能,統計功能包含平均值、標準偏差、大值、小值等;還可輸入公差范圍,計算CP和Cpk值,超范圍值時儀器應有自動報警提示功能

11、windows7以上中文操作界面,WinFTM專業測試軟件,具備連接PC和打印機的USB借口

★12、測量誤差:鍍層厚度≥0.5um時,頂層鍍層測量精度≤5%



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