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產品型號 | 高真空三溫區CVD系統OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV | ||
主要特點 | 1、爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使得殼體表面的溫度<60°。 2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用 壽命。 3、設有三個溫區，可獨立控溫，可設置50段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。 4、供氣系統與真空機組置于移動架內，方便移動。 5、真空系統采用一鍵操作，按下“start” 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達到10-2 mbar后分子泵自動啟動）。 6、根據腔體內的真空度，系統自動控制旋片泵的旋轉速率。 7、已通過CE認證。 | ||
技術參數 | 管式爐 1、電源：AC 208-240V單相 50/60Hz 7KW 2、爐管：高純石英管，外徑Φ100mm×內徑Φ92mm×1400mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 4、加熱區：溫區I長220mm，溫區II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm 5、恒溫區：500mm（三個溫區設為同一溫度時） 6、工作溫度：zui高1200℃，連續工作1100℃ 7、zui大升溫速率：≤20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：3根K型熱電偶 | ||
高真空機組 1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換 50/60Hz 2、消耗功率：110W 3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm 4、zui大承重量：270kg 5、抽氣速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s 6、工作范圍：1000mbar-<10-7mbar 7、極限真空度：10-5torr 8、數字式真空顯示計：10-8mbar-103mbar | |||
質量流量混氣系統 1、質量流量計：9通道精密質量流量計 2、流量計范圍：10-1000scc三個，20-200scc三個，30-10scc三個 3、壓力表：3個，用來檢測混合氣體壓力 | |||
產品規格 | 尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機組600mm×600mm×700mm，質量流量混氣系統600mm×600 mm×700mm 重量：100kg | ||
真空配件 | 1 | 不銹鋼真空密封法蘭 | 2個 |
2 | 精密針閥 | 2個 | |
3 | 1/4″軟管接頭 | 1個 | |
4 | 高溫硅膠O型密封圈（zui高可承受300℃） | 6個 | |
5 | 氧化鋁管堵 | 1套 | |
6 | KF-40真空波紋管 | 1根 | |
7 | KF-40快速卡箍 | 3個 | |
8 | KF-25卡箍 | 2個 | |
可選配件 | 防腐型數字真空顯示計 | ||
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