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6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S
  • 6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-03-18 11:11:26

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6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內徑為6″的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大5″的基片上生長多種薄膜。

 

產品型號

  6單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

主要特點

  1、雙層殼體,配有循環(huán)風冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能殼體溫度<70℃。

  2采用不銹鋼真空密封法蘭,使用雙硅膠密封圈進行密封

  3設有K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

  4采用PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序。

  5已通過CE認證。

技術參數(shù)

  1電源:AC 220V  8KW

  2、石英管:內徑Φ152mm,長1016mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:600mm

  5恒溫區(qū)域200mm

  6工作溫度:zui高1100連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8熱電偶:雙K

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

  11、鎧裝熱偶檢測口:1

  12、真空接口:KF40

產品規(guī)格

  尺寸:1000mm×680mm×920mm重量:250kg

標準配件

1

  石英管

1

2

  氧化鋁管堵

2

可選配件

  1軟件接口模塊和PC

  2、石英管

  3、石英管堵

  4K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

  5、真空泵

 

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