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產(chǎn)品型號

  GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀

主要特點

  1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

  2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得　

        *鍍膜效果。

  3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

  5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

  6、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細顆粒的涂層。

  7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。

技術(shù)參數(shù)

  1、靶：Φ50mm

  2、真空室：Φ160mm×120mm

  3、zui高真空度：≤4×10^-2mbar

  4、zui大電流：50mA（100mA）

  5、可設(shè)定zui長時間：9999s

  6、微型真空氣閥：連接Φ3mm軟管

  7、zui高電壓：1600V   DC

  8、機械泵：2L/s

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：360mm×300mm×380mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  金靶材

1個

2

  進氣針閥

1個

3

  保險絲

2個

可選配件

  金、銦、銀、鉑等各種靶材