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產品型號

  GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀

主要特點

  配備了熱蒸發附件，可以蒸發碳絲或者其他材料，如鋁、不銹鋼等材料，同時具有濺射和蒸發的功能。因此擴

  展了應用范圍，特別適用于掃描電鏡樣品的制備。

技術參數

  1、靶：Φ50mm

  2、樣品臺：Φ50mm

  3、真空室：Φ160mm×110mm

  4、真空度：4×10^-1mbar-2×10^-2mbar

  5、zui大電流：50mA

  6、可設定zui長時間：9999s

  7、zui高電壓：1600V   DC可調

  8、真空泵：4L兩級機械旋轉泵，極限真空2×10^-2mbar

標準配件

1

  金靶材

1個

2

  碳繩

1根

3

  鎢絲籃

2個

4

  熱蒸發附件

1套

5

  進氣針閥

1個

6

  保險絲

2個

可選配件

  金、銦、銀、白金等各種靶材