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產品型號 | GSL-1100X-SPC-16 -3等離子三靶濺射儀 | ||
主要特點 | 1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。 2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得 *鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。 5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。 6、已通過CE認證。 | ||
技術參數 | 1、靶：Φ45mm 2、真空室：Φ160mm×120mm 3、zui高真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位：3個 5、zui大電流：50mA 6、可設定zui長時間：900s 7、微型真空氣閥：連接Φ3mm軟管 8、zui高電壓：1600V DC 9、機械泵：2L/s | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 銀靶材 | 1個 | |
3 | 鋁靶材 | 1個 | |
4 | 進氣針閥 | 1個 | |
5 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
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