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在半導(dǎo)體行業(yè)中，對質(zhì)量流量計（MFM）和質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高，以滿足精密制造的要求。

半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量計的性能和參數(shù)需求

高精度：

半導(dǎo)體工藝對氣體流量控制要求很高，通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。

小流量測量能力（如sccm，標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）是關(guān)鍵，尤其是在沉積、刻蝕等工藝中。

快速響應(yīng)時間：

 工藝氣體流量需要快速調(diào)整，響應(yīng)時間通常在毫秒級別，以確保工藝穩(wěn)定性。

寬量程比：

 半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍，質(zhì)量流量計需要具備寬量程比（如100:1或更高），以適應(yīng)不同工藝需求。

多氣體兼容性：

半導(dǎo)體制造中使用多種氣體（如惰性氣體、腐蝕性氣體等），質(zhì)量流量計需支持多氣體校準(zhǔn)和測量。

穩(wěn)定性和重復(fù)性：

長期穩(wěn)定性高，重復(fù)性好，確保工藝一致性，減少設(shè)備校準(zhǔn)頻率。

耐腐蝕性：

半導(dǎo)體工藝中常使用腐蝕性氣體（如Cl?、HF等），流量計材料需具備高耐腐蝕性（如不銹鋼、哈氏合金等）。

低壓力損失：

低壓力損失設(shè)計可減少對工藝系統(tǒng)的干擾，降低能耗。

清潔度和顆?？刂疲?/strong>

流量計內(nèi)部設(shè)計需避免顆粒產(chǎn)生，確保高潔凈度，防止污染晶圓。

溫度和環(huán)境適應(yīng)性：

能夠在寬溫度范圍和惡劣環(huán)境下穩(wěn)定工作。

易度層流質(zhì)量流量計的具體優(yōu)勢

高精度小流量測量：

層流設(shè)計特別適合半導(dǎo)體行業(yè)對小流量（如sccm級別）的高精度需求。

低壓損設(shè)計：

減少對工藝系統(tǒng)的干擾，降低能耗，適合長時間運行。

快速響應(yīng)：

引壓孔兩端的壓力壓差以聲波速度傳輸,響應(yīng)時間可達(dá)1ms

高潔凈度：

無活動部件，減少顆粒產(chǎn)生，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度的嚴(yán)苛要求。

耐腐蝕性強(qiáng)：

接氣部采用高耐腐蝕材料以及耐腐蝕傳感器，適合腐蝕性氣體環(huán)境。

長期穩(wěn)定性：

無活動部件設(shè)計，減少磨損，長期穩(wěn)定性更高，降低維護(hù)成本。

       半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量計的要求很高，易度層流質(zhì)量流量計憑借其高精度、低壓損、快速響應(yīng)和高潔凈度等優(yōu)勢，在半導(dǎo)體行業(yè)中表現(xiàn)出色，成為半導(dǎo)體制造中的理想選擇。