干燥機(jī) [1]  是指一種利用熱能降低物料水分的機(jī)械設(shè)備，用于對物體進(jìn)行干燥操作。干燥機(jī)通過加熱使物料中的濕分（一般指水分或其他可揮發(fā)性液體成分）汽化逸出，以獲得規(guī)定濕含量的固體物料。干燥的目的是為了物料使用或進(jìn)一步的需要。按操作壓力，干燥機(jī)分為常壓干燥機(jī)和真空干燥機(jī)兩類，根據(jù)操作壓力可分為常壓和減壓（減壓干燥機(jī)也稱真空干燥機(jī)）。詞條還詳細(xì)介紹了吸附式干燥機(jī)、冷凍式干燥機(jī)和微波干燥機(jī)。



AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，有甚者用于某一工序的工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個獨立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對AMC的控制，對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求，對污染物質(zhì)的要求當(dāng)前總的說法是控制在亞pptm～1pptm間。
真空干燥機(jī)電話議價壓縮空氣中水蒸氣的量是由壓縮空氣的溫度決定的：在保持壓縮空氣壓力基本不變的情況下，降低壓縮空氣的溫度可減少壓縮空氣中的水蒸氣含量，而多余的水蒸氣會凝結(jié)成液體。冷凍干燥機(jī)是利用這一原理采用制冷干燥壓縮空氣的。因此冷干機(jī)具有制冷系統(tǒng)。冷凍干燥機(jī)的制冷系統(tǒng)屬于壓縮式制冷，由制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、膨脹閥等四個基本部件組成。它們之間用管道依次連接，形成一個密閉的系統(tǒng)，制冷劑在系統(tǒng)中不斷地循環(huán)流動，發(fā)生狀態(tài)變化并與壓縮空氣和冷卻介質(zhì)進(jìn)行熱量交換。壓縮空氣干燥機(jī)還有吸附式干燥機(jī)和溶解式干燥機(jī)。
嚴(yán)禁突然開啟或關(guān)閉。瀝青流量計在使用時，應(yīng)使表內(nèi)流滿液體。被測液體內(nèi)不應(yīng)混有氣體，否則測出氣和液的混合容積，使測量不準(zhǔn)，液體內(nèi)混有氣體時，必須在儀表上游安裝氣體分離器。管道中的流量不應(yīng)急劇增加或減少，應(yīng)避免管道振動、水力沖擊和壓力急劇波動等現(xiàn)象，否則將影響儀表正常工作。由于測量高粘度液體時，一般均將液體加熱以降低粘度，然后在管道內(nèi)流通。當(dāng)儀表停用后，儀表內(nèi)充滿的液體因冷卻而變粘，如再要啟用，必須用蒸汽或其他方法在表體外部加熱，從而降低液體的粘度，待儀表內(nèi)液體粘度降低后才能使用。
真空干燥機(jī)電話議價制冷壓縮機(jī)將蒸發(fā)器內(nèi)的低壓（低溫）制冷劑吸入壓縮機(jī)汽缸內(nèi)，制冷劑蒸汽經(jīng)過壓縮，壓力、溫度同時升高；高壓高溫的制冷劑蒸汽被壓冷凝器，在冷凝器內(nèi)，溫度較高的制冷劑蒸汽與溫度比較低的冷卻水或空氣進(jìn)行熱交換，制冷劑的熱量被水或空氣帶走而冷凝下來，制冷劑蒸汽變成了液體。這部分液體再被輸送膨脹閥，經(jīng)過膨脹閥節(jié)流成了低溫低壓的液體并進(jìn)入蒸發(fā)器；在蒸發(fā)器內(nèi)低溫、低壓的制冷劑液體吸收壓縮空氣的熱量而汽化（俗稱“蒸發(fā)"），而壓縮空氣得到冷卻后凝結(jié)出大量的液體水；蒸發(fā)器中的制冷劑蒸汽又被壓縮機(jī)吸走，這樣制冷劑便在系統(tǒng)中經(jīng)過壓縮、冷凝、節(jié)流、蒸發(fā)這樣四個過程，從而完成了一個循環(huán)。