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大平臺(tái)有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)的觀測。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)，落射照明器、平場金相物鏡，大視野目鏡，圖像清晰、襯度較好，同時(shí)配有偏光裝置，是專門為檢測晶圓而設(shè)計(jì)制造的。

LW400T大平臺(tái)有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡

LW400T廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)的觀測。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)，落射照明器、平場金相物鏡，大視野目鏡，圖像清晰、襯度較好，同時(shí)配有偏光裝置，是專門為檢測晶圓而設(shè)計(jì)制造的。

大平臺(tái)有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置

目鏡	大視野 WF10X(Φ18mm)
物鏡	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL 5X/0.12
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L20X/0.40
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L40X/0.60
	長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L80X/0.80
目鏡筒	三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
落射照明系統(tǒng)	6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)
落射照明系統(tǒng)	落射照明器帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	載物臺(tái)升降,粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
轉(zhuǎn)換器	五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位)
載物臺(tái)	三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm

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