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真空泵使用要點
閱讀：1457 發(fā)布時間：2021-9-6
真空泵使用要點：
1.檢查確定此泵安全接地。
2.必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。
3..排氣口處要接排氣管，以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。
4.不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導(dǎo)致真空度上不去。
5不要繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險。
6.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會有爆炸、火災(zāi)等危險。
7.進(jìn)氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。
8.抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。
9.不要由一兩個人移動此泵。此由人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查，否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。
10.此泵工作過程中或剛停機(jī)時不要接觸泵電機(jī)或金屬部件(因為工作時很熱，可能達(dá)到70℃)。如確實需要接觸，采取必要防護(hù)措施防止受傷。
11.在進(jìn)氣口處裝截止閥。真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進(jìn)氣口處，不是真空泵的原因。如要真空室內(nèi)的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。
12.真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學(xué)品、溶劑及粉末等。如、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。