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| 應用領域 | 綜合 |
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馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩固可靠
MarSurf WI系列是Mahr新研發光學3D表面輪廓儀產品，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器;根據配置和應用的不同，分為WI 50 M，WI 50和WI 100三個型號；WI系列以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
MarSurf WI光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、guofangjun工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
應用測試項目：對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩固可靠
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