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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5萬-10萬 | 應用領域 | 綜合 |
布魯克Dektak 150表面輪廓儀多功能臺階儀
品牌：VEECO
產地：德國
產品型號：Dektak 150
規格：
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1*15 mg
使用N-lite傳感器：0.03*15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm*25 um;
*徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現率，0.5 um 分辨率
計算機系統：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數據點*多12萬數據點
*大樣品厚度*達90 mm (4英寸)，取決于配置
*大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階*度重現性 6埃
垂直范圍：標準524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：*大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
無論是用于科學研究還是工業生產，Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業內*好的表現性能，**的測量重復性以及*大的掃描范圍。Dektak 150集四十多年的技術積累和創新于*身，為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提*了儀器的重復*度，并降低了地板噪音對測量的干擾。基于Windows?XP的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的*鍵"進針即測量"，到多次掃描結果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。
布魯克Dektak 150表面輪廓儀多功能臺階儀
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