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金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

密析爾金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的工作原理是兩個導電層之間有一個多孔感濕層，感濕層能夠自由地吸收水分子，吸收量的多少直接對應于水氣分壓。感濕層吸收水分后，導電層的電容特性隨之改變，從而能夠計算出（工況下）水露點值。

基于高分子的傳感器——如密析爾SF82——是后來的發展。它們提供了更快的濕-干響應時間，測量范圍通常在-60至60℃露點。其工作原理類似于平板電容器，一層薄薄的高分子吸濕層起到了電介質的作用，在上面是上極板，它起到了電極的作用，但也允許水蒸氣通過它進入高分子。水蒸氣分子進入或離開吸濕性高分子，直到水蒸氣含量與環境空氣或氣體平衡。高分子的介電強度與水蒸氣含量成正比。反過來，介電強度也會影響電容，對電容進行測量和處理，得到相對濕度的測量值。通過測量溫度，還可以獲得露點或絕對濕度值。