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日本桌面臺式無掩膜光刻機 PALET DDB-701
  • 日本桌面臺式無掩膜光刻機 PALET DDB-701
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時間:2025-05-22 11:10:30

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日本桌面臺式無掩膜光刻機 PALET DDB-701與傳統(tǒng)的光刻工藝中使用鉻玻璃掩膜板進行光照不同,無掩模光刻技術是以軟件設計電子掩膜板的方法,通過電腦控制一系列激光脈沖的開關,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。這種方式節(jié)省了制備光刻板所需要的時間和經(jīng)費,并且可以實現(xiàn)對光刻結構快速迭代的需求。

桌面無掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng),通過其復雜的軟件支持簡單的光刻操作。

桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL,桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL

產(chǎn)品特點

硬件特性

小型化

內(nèi)置隔振機構和真空吸油泵

只需要電源和光刻間

軟件特性

用戶方便型接口

簡易流程

支持對準和暴露條件檢查*限制電動載物臺模型

型號

DDB-701-MS

DDB-701-DL

載物臺(Stage)

手動 XYZθ載物臺

電動 XYZθ載物臺

曝光光源

365nm (typ.) LED


Min. 線寬

3μm *1
15μm *2


單次曝光面積

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2


每張照片曝光時間*3

1~2 sec. *1
15~30 sec. *2


Max. 曝光區(qū)域

25mm×25mm(手動連接)

25mm×25mm(自動連接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)


相容文檔格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS


主體尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)


主機重量

30kg


*1在使用×10物鏡的情況下

*2在使用×2物鏡的情況下

*3曝光時間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)


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