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LT-I 系列干涉測厚傳感器全面產品介紹

一、產品概述

二、核心優勢（產品亮點）

1. 超高精度

• 重復精度達 1nm，線性誤差 ±20nm，實現納米級厚度測量。

• 非接觸式測量，避免接觸損傷樣品表面。

2. 超快速度與寬范圍

• 最高 10kHz 采樣頻率，滿足高速動態測量需求。

• 超大測厚范圍：常規型號厚度測量范圍 1μm~2500μm（折射率 1.5 時），適配不同薄膜厚度場景。

3. 環境適應性強

• 抗干擾能力強，不受電磁干擾影響。

• 寬范圍工作距離，部分型號建議安裝距離 5-10mm，兼容復雜工況。

• 零發熱探頭設計：探頭內部無電子元件，避免發熱導致的夾具變形和光軸偏移，確保長期穩定測量。

4. 光源技術升級

• 超高亮度彩色激光光源：通過藍光激發熒光體生成多色光，較傳統白色 LED 光源，發光波段更廣、亮度更穩定，提升干涉信號解析精度。泓川科技國產納米級白光干涉測厚儀

三、測量原理

1. 光源發射：白色點光譜經干涉探頭照射到樣品表面，薄膜上下表面反射光（反射光 1、反射光 2）產生相位差，形成彩色干涉條紋。

2. 信號解析：通過解析干涉條紋的相位差與光程差關系，計算薄膜厚度（厚度與相位差直接相關）。

3. 非接觸測量：無需接觸樣品，通過光譜信號處理實時獲取厚度值。

四、技術參數與型號配置

五、典型應用場景

1. 電子行業：觸摸屏 ITO 膜厚測量、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測。

2. 新能源：鋰電隔膜厚度在線監測、光伏薄膜均勻性檢測。

3. 材料科學：PET 多層膜材厚度分層測量、光學涂層厚度控制。

4. 精密制造：半導體晶圓薄膜沉積厚度監控、微納結構表面形貌分析。

六、配套支持

1. 軟件與開發：

• 上位機軟件 TSConfocalStudio，支持實時數據顯示與分析。

• 提供 C++/C# 二次開發包，便于集成至自動化產線。

2. 硬件適配：

• 支持編碼器觸發與脈沖 / 電平觸發輸入，兼容多種工業控制信號。

• 模擬信號輸出（±10V 電壓 / 4~20mA 電流）與數字信號輸出（警報、比較器），滿足不同設備接口需求。

七、產品設計亮點

• 緊湊輕量化：最小探頭直徑僅 6.35mm，適合狹小空間安裝。

• 光纖設計：光纖接頭預留距離 100mm，靜態 / 動態彎曲半徑分別為 30mm/60mm，提升布線靈活性。

• 長期穩定性：無發熱探頭結構，避免溫度漂移影響，確保高精度持續測量。

總結