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氣體分析儀器是測量氣體成分的流程分析儀表。在很多生產過程中，特別是在存在化學反應的生產過程中，僅僅根據溫度、壓力、流量等物理參數進行自動控制常常是不夠的。由于被分析氣體的千差萬別和分析原理的多種多樣，氣體分析儀器的種類繁多。常用的有熱導式氣體分析儀器、電化學式氣體分析儀器和紅外線吸收式分析儀等。

電化學式氣體分析儀器

一種化學類的氣體分析儀器表。它根據化學反應所引起的離子量的變化或電流變化來測量氣體成分。為了提高選擇性，防止測量電極表面沾污和保持電解液性能，一般采用隔膜結構。常用的電化學式分析儀有定電位電解式和伽伐尼電池式兩種。定電位電解式分析儀的工作原理是在電極上施加特定電位，被測氣體在電極表面就產生電解作用，只要測量加在電極上的電位，即可確定被測氣體*的電解電位，從而使儀表具有選擇識別被測氣體的能力。伽伐尼電池式分析儀是將透過隔膜而擴散到電解液中的被測氣體電解，測量所形成的電解電流，就能確定被測氣體的濃度。通過選擇不同的電極材料和電解液來改變電極表面的內部電壓從而實現對具有不同電解電位的氣體的選擇性。

紅外線吸收式分析儀

根據不同組分氣體對不同波長的紅外線具有選擇性吸收的特性而工作的分析儀表。測量這種吸收光譜可判別出氣體的種類;測量吸收強度可確定被測氣體的濃度。紅外線分析儀的使用范圍寬，不僅可分析氣體成分，也可分析溶液成分，且靈敏度較高，反應迅速，能在線連續指示,也可組成調節系統。工業上常用的紅外線氣體分析儀器的檢測部分由兩個并列的結構相同的光學系統組成。