濃度單位ppm與mg/m3的換算按下式計算：
質量濃度mg/m3=M氣體分子量/22.4*ppm數值*[273/(273+T氣體溫度)]*（Ba壓力/101325）
M為氣體分子量，ppm為測定的體積濃度值，T為溫度、Ba為壓力。
標準溫度標準壓力下：
mg/m3質量濃度=M氣體分子量/22.4*ppm數值
ppm數值=質量濃度mg/m3*22.4÷M氣體分子量
比如氟化氫的氣體分子量為20，采購的10ppm量程的HF換算為mg/m3如下：
HF： 10 （mg/m3）= 20 ÷ 22.4 * 10（ppm） ≈ 8.93（ppm）
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