1.不受背景氣體的影響
傳統非色散紅外光譜吸收技術采用的光源譜帶很寬，其譜寬范圍內除了被測氣體的吸收譜線外，還有很多基他背景氣體的吸收譜線。因此，光源發出的光除了被待測氣體的多條譜線吸收外還被一些背景氣體的吸收，從而導致測量的不準確性。 而半導體激光吸收光譜技術中使用的半導體激光的譜寬小于0.001nm，遠小于被測氣體一條吸收譜線的譜寬。如圖2-1所示的“單線吸收光譜”數據。 同時在選擇該吸收譜線時，就保證在所選吸收譜線頻率附近約10倍譜線寬度范圍內無測量環境中背景氣體組分的吸收譜線，從而避免這些背景氣體組分對被測氣體的交叉吸收干擾，保證測量的準確性。
2. 不受粉塵干擾
如圖2-1激光氣體分析儀通過調制激光器的頻率使之周期性地掃描被測氣體的吸收譜線，激光頻率的掃描范圍被設置為大于被測氣體吸收譜線的寬度，從而在一次掃描中包含有不被氣體吸收譜線衰減的圖2-1中的黃綠區（1區）和被氣體吸收譜線衰減的紅色區（2區）。從1區得到的測量信號包含粉塵和視窗污染的透過率，從2區得到的測量信號除包含粉塵和視窗污染的透過率還包含被氣體吸收的光強衰減。因此，通過在一個激光頻率掃描周期內對1區和2區的同時測量可以準確獲得被氣體吸收衰減掉的透光率，從而不受粉塵及視窗污染產生光強衰減對氣體測量濃度的影響。
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