ST-21H型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。

ST-21H型方塊電阻測試儀測量范圍

按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：
1.方塊電阻 1.00～1999.9Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～19999Ω/□；
小分辨率：0.1Ω/□

橫流源：測量過程誤差：≤±0.8%

模擬轉換器：量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數點同步顯示；

測量不確定度：在整個量程范圍內，測量不確定度≤5%

四探針探頭規格：間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源9V疊層電池1節